2021版重點(diǎn)新材料首批次應用示范指導目錄公布，泰特爾又一產(chǎn)品入圍
2021年12月31日，工業(yè)和信息化部發(fā)布《重點(diǎn)新材料首批次應用示范指導目錄》（2021年版）, 并于2022年1月1日起施行。
該指導目錄包括先進(jìn)基礎材料、關(guān)鍵戰略材料、前沿新材料等三大類(lèi)共304種。泰特爾新材料又一產(chǎn)品入選目錄的第112項目---ArF光刻膠用脂環(huán)族環(huán)氧樹(shù)脂。
光刻膠是一種對光敏感的混合液體，是微電子...
